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等離子刻蝕機(jī)VP-RS15對(duì)標(biāo)國(guó)際一線廠家，補(bǔ)充國(guó)內(nèi)技術(shù)k白（真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置），真空腔體不銹鋼材質(zhì)，功率500W，頻率13.56MHz，能對(duì)材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運(yùn)行3分鐘，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品，適用于晶圓去膠、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
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